Kev qhia pib ntawm MEMS siab sensor
Tus MEMS siab sensor yog lub yeeb yaj kiab zaj duab xis lub ntsej muag uas cuam tshuam thaum raug lub siab. Lub zog ntsuas lub zog (cov khoom noj khoom haus piezoresistive sensing) tuaj yeem siv los ntsuas qhov deformation no, los yog nws tuaj yeem ntsuas los ntawm lub peev xwm pom tau hloov qhov hloov ntawm qhov kev ncua deb ntawm ob thaj chaw. Ob txoj hauv kev no yog qhov nrov heev, thiab lub log siab saib xyuas lub zog siv ntau txoj kev ua tau zoo piezoresistive.