Kev faib tawm los ntawm cov tshuaj vapor deposition
Muaj ntau txoj hauv kev siv tshuaj vapor tso, xws li tso siab rau CVD (APCVD), tsis tshua muaj siab CVD (LPCVD), ultrahigh nqus CVD (UHVCVD), laser tshuaj vapor Laser deposition (LCVD), hlau-organic tshuaj vapor deposition (MOCVD) , plasma txhim kho cov tshuaj vapor deposition (PECVD), thiab lwm yam.