Nanometer-qib kev ntsuas thev naus laus zis suav nrog: nanometer-qib precision qhov loj me thiab ntsuas ntsuas qhov ntsuas, thiab nanometer-qib ntsuas kev ntsuas sab saum toj. Muaj ob txoj kev qhia tseem ceeb rau kev ntsuas nanometer.
Ib qho yog lub tshuab hluav taws xob interferometry kho qhov muag, uas siv cov kev sib cuam tshuam ntawm lub teeb ci los txhim kho cov kev daws teeb meem. Cov txheej txheem ntsuas suav nrog: ob chav ntau zaus laser interferometry, kho qhov muag heterodyne interferometry, X-ray interferometry, FP ntsuas cov cuab yeej ntsuas tus qauv, thiab lwm yam, tuaj yeem siv rau kev ntsuas qhov tseeb ntawm qhov ntev thiab kev tshem tawm, thiab tseem tuaj yeem siv rau kev ntsuas ntawm cov nplaim micro. -thopography.
Qhov ob yog kev tshuaj xyuas kev sojntsuam cov tshuab ntsuas me me (STM). Nws cov hauv paus ntsiab lus yog nyob ntawm qhov kev txiav tawm ntawm quantum mechanics. Lub hauv paus ntsiab lus yog siv qhov kev sojntsuam kom meej (lossis cov qauv zoo sib xws) txhawm rau txhawm rau ntsuas lub ntsuas sab (sojntsuam thiab ntsuas lub ntsuas qhov tseeb tsis yog qhov sib chwv), thiab peb lub duab me me ntawm cov khoom sab nraud yog ntsuas nrog kev pab ntawm nano. -ib kaum peb-seem kev tig cev tso rau kev tswj chaw. Mas siv los ntsuas lub ntsuas me me thiab qhov loj ntawm lub npoo.
Kev ntsuas kev ntsuas siv txoj ntsiab cai no suav nrog: tshuaj xyuas lub ntsuas tsom kab tawg (STM), ntsuas lub tshuab tsom me me (AFM), thiab lwm yam.